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                歡迎訪問鑫藍(lán)環(huán)保官網(wǎng)，主營：濕式除塵器,布袋除塵設(shè)備,除塵設(shè)備,有機(jī)廢氣處理,廢氣處理設(shè)備!
    
            
        
    
    
    
    
    
        
    
            
            
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        廢氣處理設(shè)備（除塵設(shè)備）有機(jī)廢氣處理-[鑫藍(lán)環(huán)保],11年高品質(zhì)領(lǐng)導(dǎo)者
    
    

    

    
    
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            鑫藍(lán)動(dòng)態(tài) » 半導(dǎo)體制造工藝有機(jī)廢氣處理設(shè)備
    
    
    
        
    
        
    
        
    
            
    
                
    
                    半導(dǎo)體制造工藝有機(jī)廢氣處理設(shè)備
    
                
    
                    
    
                        
    
                            文章出處：原創(chuàng)網(wǎng)責(zé)任編輯：蔡作者：蔡人氣：-發(fā)表時(shí)間：2025-03-22 00:00:00【大
                                    中 小】
                        
    
                    
    
                
    
                
    
                    
      鑫藍(lán)廢氣處理設(shè)備－電子廠涉及的行業(yè)很多
      ，不同行業(yè)在工藝上有一定差異，產(chǎn)生的廢氣種類也有一定的差異
      ，今天就從半導(dǎo)體行業(yè)入手為大家介紹電子廠廢氣處理。電子廠半導(dǎo)體廢氣處理主要針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣和毒性氣體的治理
      ，我們嘗試使用筒式沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)
    。半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)生的有機(jī)廢氣，主要可以分為
    ，半導(dǎo)體制造工藝有機(jī)廢氣，和半導(dǎo)體封裝工藝產(chǎn)生的有機(jī)廢氣
    。
    

    

      
    

    　　半導(dǎo)體制造工藝
    

    　　1
    、電子行業(yè)生產(chǎn)廠家處理有機(jī)廢氣和毒氣的處理方法
    

    　　現(xiàn)在，半導(dǎo)體制造過程中排放的含有有機(jī)成分的廢氣（VOC）通常采用直接焚燒
    、活性炭吸附、生物氧化等方法進(jìn)行處理
    。
    

    　　2
    、針對(duì)電子廠廢氣處理半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣和毒性氣體的治理
    ，筒式沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)的凈化原理是：
    

    　　將普通的220V/380V交流電通過變壓器
    ，變頻器轉(zhuǎn)換為高頻高壓的電壓，產(chǎn)生足以擊穿氣體的電壓
    ，釋放出高能電子
    ，高能電子破壞有機(jī)廢氣中的氣體分子之間的化學(xué)鍵，斷開這些化學(xué)鍵從而產(chǎn)生了各種碳原子
    、氧原子、氫原子
    、氫氧自由基
    、臭氧等混合體，等離子體中的氧原子和碳原子結(jié)合形成二氧化碳
    ，氧原子和氫原子結(jié)合形成水分子，最終產(chǎn)生排放到大氣中的氣體為無污染的二氧化碳（CO2）和水    （H2O）
    。
    

    　　3
    、電子廠廢氣處理筒式沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn)：
    

    　　放電產(chǎn)生的筒式沸石轉(zhuǎn)輪體中
    ，電子能量高
    ，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用。
    

    　　反應(yīng)快
    ，不受氣速限制
    。
    

    　　采用防腐蝕材料
    。
    

    　　只需用電
    ，操作極為簡單。
    

    　　設(shè)備啟動(dòng)
    、停止十分迅速
    ，隨用隨開
    ，常溫常壓下即能使用
    。
    

    　　氣阻小，適用于大風(fēng)量的廢氣處理
    。
    

    　　4
    、電子廠廢氣處理筒式沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域：集成電路生產(chǎn)企業(yè)
    、分立器件生產(chǎn)企業(yè)
    、光電組件生產(chǎn)企業(yè)。
    

    　　5
    、半導(dǎo)體企業(yè)廢氣排放特征分析
    

    　　半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)
    。
    

    　　6
    、半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣和毒氣的來源
    

    　　半導(dǎo)體制造工藝產(chǎn)生的揮發(fā)性有機(jī)廢氣
    ，主要來源于光刻、顯影
    、刻蝕及擴(kuò)散等工序，與半導(dǎo)體制造工藝相比
    ，半導(dǎo)體封裝工藝產(chǎn)生的有機(jī)廢氣較為簡單
    ，主要為晶粒粘貼、封膠后烘烤過程產(chǎn)生的烘烤廢氣
    。
    

    　　含毒氣性廢氣
    ，其來源為化學(xué)氣相沉積
    、干蝕刻機(jī)
    、擴(kuò)散、離子布值機(jī)及磊晶等制程時(shí)所產(chǎn)生
    。主要成分是磷化氫等
    。
    

    　　電子廠廢氣處理半導(dǎo)體筒式沸石轉(zhuǎn)輪技術(shù)
    ，在實(shí)際設(shè)計(jì)中
    ，需要加洗滌塔作為預(yù)處理裝置，來攔截粉塵和易溶性的酸堿廢氣
    。
    

    針對(duì)排放的腐蝕性強(qiáng)的氯化氫酸性廢氣
    ，采用兩級(jí)堿噴淋塔處理系統(tǒng)對(duì)其進(jìn)行處理。通過對(duì)比產(chǎn)生
    、排放濃度和速率可知，該處理系統(tǒng)對(duì)氯化氫酸性廢氣的去除效率可達(dá)95%以上
    。電子行業(yè)企業(yè)產(chǎn)生的腐蝕性強(qiáng)
    、有毒有害的氯化氫酸性廢氣，可采用兩級(jí)堿噴淋塔凈化工藝
    ，以達(dá)到高效凈化
    、經(jīng)濟(jì)可行
    、穩(wěn)定性高的效果
    。
    

    鑫藍(lán)環(huán)保科技（昆山）有限公司多年來專注于半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)計(jì)
    、制造和安裝
    。我們產(chǎn)品有RTO蓄熱焚燒、RCO蓄熱催化燃燒
    、CO催化燃燒
    、TO直燃爐、有機(jī)廢氣處理設(shè)備
    、冷凝回收
    、防爆除塵器
    、酸堿廢氣處理
    、濾筒除塵器、    防爆除塵器
    、單機(jī)除塵器、倉頂除塵器
    、旋風(fēng)除塵器
    、洗滌塔、活性炭吸附箱
    、靜電除油設(shè)備等
    。
    

    詳情請(qǐng)撥打24小時(shí)技術(shù)服務(wù)熱線：180-6841-2162
    

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