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        廢氣處理設(shè)備（除塵設(shè)備）有機廢氣處理-[鑫藍環(huán)保],11年高品質(zhì)領(lǐng)導(dǎo)者
    
    

    

    
    
    
        
    
        
    
        
    
            
    
                
    
                    鑫藍環(huán)保-電子半導(dǎo)體行業(yè)廢氣治理
    
                
    
                    
    
                        
    
                            文章出處：原創(chuàng)網(wǎng)責(zé)任編輯：蔡作者：蔡人氣：-發(fā)表時間：2025-06-18 00:00:00【大
                                    中 小】
                        
    
                    
    
                
    
                
    
                    
       電子半導(dǎo)體廢氣治理需結(jié)合其工藝復(fù)雜
    、廢氣成分多樣（含酸性/堿性氣體
      、有機溶劑
    、特種氣體等）及高安全性要求的特點
    ，采用分類收集
    、分級處理
      、深度凈化的組合工藝
      ，并嚴(yán)格遵循環(huán)保法規(guī)
    。以下是具體技術(shù)路徑與管理策略：
    

    

      
    

      一
    、廢氣特性與治理難點
    

      成分復(fù)雜性
    

      酸性氣體：HF
      、HCl
    、Cl?（來自蝕刻、清洗工藝）
      。
    

      堿性氣體：NH?（來自CVD沉積
    、擴散工藝）
    。
    

      有機廢氣：PGMEA
    、IPA（光刻膠溶劑）
    。
    

      特種氣體：SiH?（硅烷）、PH?（磷化氫）
    、NF?（三氟化氮
    ，強溫室氣體）。
    

      治理難點
    

      高毒性/腐蝕性：如Cl?
    、SiH?泄漏可能引發(fā)爆炸或中毒
    。
    

      低濃度大風(fēng)量：部分工藝廢氣濃度低（<100 mg/m³），但總量大
    。
    

      法規(guī)嚴(yán)格：需滿足《電子工業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB 39726-2020）及地方特排限值
    。
    

      二、源頭控制與分類收集
    

      工藝優(yōu)化
    

      替代高危氣體（如用NF?替代CF?減少溫室效應(yīng)）
    。
    

      密閉化操作（如手套箱
    、局部排風(fēng)罩）減少無組織排放。
    

      廢氣分類
    

      酸性/堿性廢氣：單獨管道收集
    ，避免中和反應(yīng)放熱
    。
    

      有機廢氣：與無機廢氣隔離，防止爆炸風(fēng)險
    。
    

      易燃易爆氣體（如SiH?
    、H?）：專用防爆管道，設(shè)置緊急切斷閥
    。
    

      三
    、預(yù)處理階段
    

      顆粒物去除
    

      高效過濾器（HEPA濾網(wǎng)）：去除0.3μm以上顆粒，保護后續(xù)設(shè)備
    。
    

      濕式洗滌塔：同步去除水溶性氣體（如NH?）和顆粒物
    。
    

      溫度/濕度控制
    

      冷凝器：降低廢氣溫度，防止高溫引發(fā)反應(yīng)
      。
    

      除霧器：去除水分
      ，避免腐蝕管道。
    

      四
      、核心處理技術(shù)組合
    

      方案1：酸性/堿性廢氣處理
    

      工藝流程：
    

      堿液噴淋塔（處理HCl
      、Cl?）→酸液噴淋塔（處理NH?）→除霧器
    

      關(guān)鍵設(shè)計：
    

      噴淋液循環(huán)使用，定期檢測pH值并補充藥劑
      。
    

      塔內(nèi)填料選擇耐腐蝕材料（如PP
      、PTFE）。
    

      方案2：含氟廢氣處理
    

      工藝流程：
    

      石灰乳噴淋塔（Ca(OH)?吸收HF）→干式吸附床（活性氧化鋁吸附殘留F?）
    

      優(yōu)勢：石灰乳成本低
      ，吸附床可深度凈化至0.1mg/m³以下
      。
    

      方案3：有機廢氣處理
    

      適用場景：低濃度（<500mg/m³）、大風(fēng)量廢氣
      。
    

      工藝流程：
    

      沸石轉(zhuǎn)輪吸附→脫附濃縮→蓄熱式熱氧化（RTO）
    

      注意：RTO需防硅烷燃燒產(chǎn)物（SiO?）堵塞蓄熱體
      ，需定期高壓空氣反吹
      。
    

      方案4：特種氣體處理
    

      SiH?/PH?：
    

      安全燃燒爐（850℃以上徹底氧化）→堿液噴淋（吸收SO?、PO??）
      。
    

      NF?：
    

      高溫分解爐（>1200℃）→堿液吸收（生成NaNO?/NaNO?）
      。
    

      五、深度凈化與安全措施
    

      應(yīng)急處理
    

      設(shè)置活性炭吸附箱作為安全網(wǎng)
      ，應(yīng)對濃度波動或設(shè)備故障
    。
    

      防爆設(shè)計
    

      管道安裝阻火器、泄爆片
    ，設(shè)備接地防靜電
    。
    

      有機廢氣處理系統(tǒng)設(shè)置氮氣保護裝置。
    

      副產(chǎn)物資源化
    

      噴淋廢液經(jīng)中和
    、沉淀后委外處理
    ，或回收有用成分（如氟化鈣）。
    

      六
    、監(jiān)測與運維管理
    

      在線監(jiān)測系統(tǒng)（CEMS）
    

      實時監(jiān)測HF
    、HCl、非甲烷總烴等指標(biāo)
    ，數(shù)據(jù)聯(lián)網(wǎng)至環(huán)保部門
    。
    

      定期檢測
    

      每季度委托第三方檢測特征污染物（如NF?、SiH?）
    。
    

      設(shè)備維護
    

      噴淋塔每月清理結(jié)垢
    ，RTO蓄熱體每年清灰，催化劑每2年再生
    。
    

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    ？萍迹ɡド剑┯邢薰?/span>多年來專注于電子半導(dǎo)體廢氣治理設(shè)計、制造和安裝
    。    我們產(chǎn)品有RTO蓄熱焚燒
    、    RCO蓄熱催化燃燒、CO催化燃燒
    、TO直燃爐
    、    有機廢氣處理設(shè)備、冷凝回收
    、    防爆除塵器
    、酸堿廢氣處理、濾筒除塵器
    、    防爆除塵器
    、單機除塵器、倉頂除塵器、旋風(fēng)    除塵器
    、    洗滌塔
    、活性炭吸附    箱、靜電除油設(shè)備等
    。
    

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