- [鑫藍(lán)動(dòng)態(tài)]二氯硅烷分裝和真空系統(tǒng)廢氣處理工藝[ 2025-05-28 00:00 ]
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二氯硅烷(SiH?Cl?)分裝及真空系統(tǒng)廢氣處理工藝需結(jié)合其化學(xué)特性(易燃、有毒、遇水水解)和工藝安全要求,設(shè)計(jì)分裝流程與廢氣凈化方案。以下是分步說明: 一、二氯硅烷分裝工藝 系統(tǒng)設(shè)計(jì)原則 密閉性:全程采用雙機(jī)械密封、真空夾套管道,避免泄漏。 惰性化:分裝前用高純氮?dú)猓∟?)吹掃系統(tǒng),確保氧含量<1ppm,防止與二氯硅烷反應(yīng)。 壓力控制:通過減壓閥和背壓閥維持分裝壓力≤0.
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