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半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理工藝推薦-鑫藍(lán)環(huán)保

文章出處：原創(chuàng)網(wǎng)責(zé)任編輯：蔡作者：蔡人氣：-發(fā)表時(shí)間：2025-07-28 00:00:00【大中小】

半導(dǎo)體行業(yè)在生產(chǎn)過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生多種廢氣

，包括揮發(fā)性有機(jī)化合物（VOCs）

、酸性氣體
、堿性氣體

、有毒氣體以及顆粒物等。這些廢氣若未經(jīng)有效處理直接排放

，會(huì)對(duì)環(huán)境和人體健康造成嚴(yán)重危害

。以下是針對(duì)半導(dǎo)體廢氣處理的推薦工藝，結(jié)合了技術(shù)成熟度

、處理效率

、運(yùn)行成本及環(huán)保要求等因素：

一、揮發(fā)性有機(jī)化合物（VOCs）處理工藝

沸石轉(zhuǎn)輪吸附濃縮+RTO（蓄熱式熱氧化）

工藝原理：沸石轉(zhuǎn)輪利用其多孔結(jié)構(gòu)吸附VOCs

，通過(guò)高溫脫附將濃縮后的VOCs送入RTO進(jìn)行高溫氧化分解

，生成CO?和H?O。

優(yōu)勢(shì)：處理效率高（可達(dá)99%以上）

，適用于大風(fēng)量

、低濃度的VOCs廢氣處理；沸石轉(zhuǎn)輪可重復(fù)使用

，運(yùn)行成本低

；RTO熱回收效率高，節(jié)能效果顯著

。

適用場(chǎng)景：半導(dǎo)體制造過(guò)程中的光刻

、蝕刻、清洗等環(huán)節(jié)產(chǎn)生的VOCs廢氣

。

活性炭吸附+催化燃燒

工藝原理：活性炭吸附VOCs

，當(dāng)吸附飽和后，通過(guò)熱空氣脫附將VOCs送入催化燃燒裝置

，在催化劑作用下低溫氧化分解

。

優(yōu)勢(shì)：設(shè)備簡(jiǎn)單，投資成本低

；適用于低濃度

、小風(fēng)量的VOCs廢氣處理。

局限：活性炭需定期更換

，運(yùn)行成本較高

；催化燃燒需消耗輔助燃料，能耗較大

。

二

、酸性氣體處理工藝

濕式洗滌塔

工藝原理：廢氣通過(guò)噴淋塔，與堿性洗滌液（如NaOH溶液）充分接觸

，發(fā)生中和反應(yīng)

，去除酸性氣體。

優(yōu)勢(shì)：處理效率高

，可同時(shí)處理多種酸性氣體

；設(shè)備簡(jiǎn)單

，操作方便。

適用場(chǎng)景：半導(dǎo)體制造過(guò)程中的蝕刻

、清洗等環(huán)節(jié)產(chǎn)生的HF

、HCl等酸性氣體。

干式吸附法

工藝原理：利用堿性吸附劑（如活性炭

、分子篩等）吸附酸性氣體

，達(dá)到凈化目的。

優(yōu)勢(shì)：無(wú)需噴淋系統(tǒng)

，設(shè)備簡(jiǎn)單

；適用于低濃度酸性氣體的處理。

局限：吸附劑需定期更換

，運(yùn)行成本較高

；處理效率受吸附劑性能影響。

三

、堿性氣體處理工藝

濕式洗滌塔

工藝原理：與酸性氣體處理類似

，廢氣通過(guò)噴淋塔，與酸性洗滌液（如稀硫酸溶液）充分接觸

，發(fā)生中和反應(yīng)，去除堿性氣體

。

優(yōu)勢(shì)：處理效率高

，可同時(shí)處理多種堿性氣體；設(shè)備簡(jiǎn)單

，操作方便

。

適用場(chǎng)景：半導(dǎo)體制造過(guò)程中產(chǎn)生的NH?等堿性氣體。

四

、有毒氣體處理工藝

化學(xué)吸收法

工藝原理：針對(duì)特定有毒氣體（如SiH?

、PH?、AsH?等）

，選擇合適的吸收劑進(jìn)行化學(xué)吸收
，轉(zhuǎn)化為無(wú)害或低毒物質(zhì)。

優(yōu)勢(shì)：處理效率高

，可針對(duì)性處理特定有毒氣體
；吸收劑可循環(huán)使用，降低運(yùn)行成本
。

局限：需根據(jù)有毒氣體種類選擇合適的吸收劑

；吸收過(guò)程可能產(chǎn)生副產(chǎn)物，需進(jìn)一步處理
。

燃燒法

工藝原理：將有毒氣體送入燃燒爐

，在高溫下與氧氣反應(yīng)
，生成無(wú)害物質(zhì)（如CO?、H?O等）
。

優(yōu)勢(shì)：處理徹底

，適用于高濃度有毒氣體的處理；可回收燃燒產(chǎn)生的熱量

，降低能耗

。

局限：需消耗輔助燃料，運(yùn)行成本較高

；燃燒過(guò)程可能產(chǎn)生二次污染

，需嚴(yán)格控制燃燒條件。

五

、顆粒物處理工藝

布袋除塵器

工藝原理：廢氣通過(guò)布袋除塵器

，顆粒物被濾袋截留，凈化后的氣體排出

。

優(yōu)勢(shì)：處理效率高

，可去除微小顆粒物；濾袋可清洗或更換

，運(yùn)行成本較低

。

適用場(chǎng)景：半導(dǎo)體制造過(guò)程中產(chǎn)生的粉塵、顆粒物等

。

六

、綜合處理工藝推薦

針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)廢氣成分復(fù)雜、排放量大的特點(diǎn)

，推薦采用組合工藝進(jìn)行綜合處理

。例如：

VOCs+酸性氣體+堿性氣體綜合處理：采用沸石轉(zhuǎn)輪吸附濃縮+RTO處理VOCs，同時(shí)設(shè)置濕式洗滌塔處理酸性氣體和堿性氣體

，實(shí)現(xiàn)多種廢氣的高效協(xié)同處理
。

有毒氣體+顆粒物綜合處理：針對(duì)有毒氣體采用化學(xué)吸收法或燃燒法進(jìn)行處理，同時(shí)設(shè)置布袋除塵器或靜電除塵器去除顆粒物

，確保廢氣達(dá)標(biāo)排放
。

七、工藝選擇注意事項(xiàng)

廢氣成分分析：在選擇處理工藝前

，需對(duì)廢氣成分進(jìn)行詳細(xì)分析
，了解廢氣中各組分的濃度、性質(zhì)及排放規(guī)律
。

處理效率要求：根據(jù)環(huán)保法規(guī)及企業(yè)自身要求

，確定廢氣處理效率目標(biāo)，選擇能夠滿足要求的處理工藝
。

運(yùn)行成本考慮：綜合考慮設(shè)備投資

、運(yùn)行能耗
、維護(hù)費(fèi)用等因素，選擇經(jīng)濟(jì)合理的處理工藝
。

環(huán)保法規(guī)遵循：確保所選處理工藝符合國(guó)家和地方環(huán)保法規(guī)要求

，避免因違規(guī)排放而面臨處罰。

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？萍迹ɡド剑┯邢薰?/span>多年來(lái)專注于半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)計(jì)
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